B. J. Pawlak,
M. L. Pelaz,
M. Law
Cambridge University Press
e druk, 2008
9781605110400
Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070
Specificaties
Gebonden, 319 blz.
|
Engels
Cambridge University Press |
e druk, 2008
ISBN13: 9781605110400
Rubricering
Juridisch
:
Onderdeel van serie
MRS Proceedings
Levertijd ongeveer 9 werkdagen
Gratis verzonden
Samenvatting
Materials scientists, silicon technologists and TCAD researchers come together in this book to share experimental results and physical models, discuss achievements and challenges, and identify key issues for future research in this field. The volume focuses on many aspects related to doping of semiconductors (Si, SiGe and Ge) for device fabrication, and explores areas for single-gate as well as multi-gate devices with planar and vertical architectures. Surface properties, coverage, bonding saturation and passivation, and annealing ambient are also discussed.
Specificaties
ISBN13:9781605110400
Taal:Engels
Bindwijze:Gebonden
Aantal pagina's:319
Uitgever:Cambridge University Press
Serie:MRS Proceedings
Inhoudsopgave
Preface; Part I. Ultra Shallow Junctions I; Part II. Shallow Junction Contacting; Part III. Poster Session; Part IV. Ultra Shallow Junctions II; Part V. Solid Phase Epitaxial Regrowth; Part VI. Modeling and Simulation; Author index; Subject index.
Net verschenen
Rubrieken
- aanbestedingsrecht
- aansprakelijkheids- en verzekeringsrecht
- accountancy
- algemeen juridisch
- arbeidsrecht
- bank- en effectenrecht
- bestuursrecht
- bouwrecht
- burgerlijk recht en procesrecht
- europees-internationaal recht
- fiscaal recht
- gezondheidsrecht
- insolventierecht
- intellectuele eigendom en ict-recht
- management
- mens en maatschappij
- milieu- en omgevingsrecht
- notarieel recht
- ondernemingsrecht
- pensioenrecht
- personen- en familierecht
- sociale zekerheidsrecht
- staatsrecht
- strafrecht en criminologie
- vastgoed- en huurrecht
- vreemdelingenrecht