Hans H. Gatzen,
Volker Saile,
Jürg Leuthold
Springer Berlin Heidelberg
2015e druk, 2015
9783662443941
Micro and Nano Fabrication
Tools and Processes
Specificaties
Gebonden, 521 blz.
|
Engels
Springer Berlin Heidelberg |
2015e druk, 2015
ISBN13: 9783662443941
Rubricering
Juridisch
:
Verwachte levertijd ongeveer 9 werkdagen
Samenvatting
For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.
Specificaties
ISBN13:9783662443941
Taal:Engels
Bindwijze:gebonden
Aantal pagina's:521
Uitgever:Springer Berlin Heidelberg
Druk:2015
Inhoudsopgave
<p>Introduction-MEMS, a Historical Perspective.- Vacuum Technology.- Deposition Technologies.- Etching Technologies.- Doping and Surface Modification.- Lithography.- LIGA.- Nanofabrication by Self-Assembly.- Enabling Technologies I - Wafer Planarization and Bonding.- Enabling Technologies II - Contamination Control.- Device Fabrication - An Example.</p>
Net verschenen
Rubrieken
- aanbestedingsrecht
- aansprakelijkheids- en verzekeringsrecht
- accountancy
- algemeen juridisch
- arbeidsrecht
- bank- en effectenrecht
- bestuursrecht
- bouwrecht
- burgerlijk recht en procesrecht
- europees-internationaal recht
- fiscaal recht
- gezondheidsrecht
- insolventierecht
- intellectuele eigendom en ict-recht
- management
- mens en maatschappij
- milieu- en omgevingsrecht
- notarieel recht
- ondernemingsrecht
- pensioenrecht
- personen- en familierecht
- sociale zekerheidsrecht
- staatsrecht
- strafrecht en criminologie
- vastgoed- en huurrecht
- vreemdelingenrecht