Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben

Name: Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben
Author: Olaf Herzog

Specificaties

Paperback, 123 blz. | Duits

Springer Berlin Heidelberg | 1997e druk, 1997

ISBN13: 9783540635635

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Juridisch :

Springer Berlin Heidelberg 1997e druk, 1997 9783540635635

Onderdeel van serie IPA-IAO - Forschung und Praxis

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Samenvatting

Die vorliegende Arbeit entstand wahrend meiner Tatigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer Institut Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Zum Dank fur den Ruckhalt wahrend des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Frau und meinen Kindem. Herro Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. E. Westkaemper und Herro Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. mult. H.-J. Warnecke danke ich fur die wohlwollende Unterstiitzung und Forderung meiner Arbeit. Mein Dank gilt auch in gleicher Weise Prof. Dr. rer. nat. B. Hofflinger fUr die Durchsicht der Arbeit und die Ubernahme des Mitberichts. Ich danke allen Kolleginnen und Kollegen fiir die Unterstutzung und konstruktive Kritik wahrend der Entstehung meiner Arbeit. Mein Dank gilt dabei insbesondere Herro Dr.-Ing. Bernhard Klumpp, Herrn Dr.-Ing. M. Schweizer und Herro Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. R. D. Schraft. Einen besonderen Dank mochte ich Herrn Dipl.-Ing. W. Schafer und Herrn Dipl.-Ing. J. SchlieBer vom IPA sowie Herro Dipl.-Ing. P. Staudt-Fischbach von der TEMIC Semiconductor Itzehoe GmbH fUr die ausdauernde Diskussionsbereitschaft wahrend der Entstehung dieses Werkes aussprechen.

Specificaties

ISBN13:9783540635635

Taal:Duits

Bindwijze:paperback

Aantal pagina's:123

Uitgever:Springer Berlin Heidelberg

Druk:1997

Serie:IPA-IAO - Forschung und Praxis

Inhoudsopgave

1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.2 Flexible Halbleiterfertigung.- 2.3 Fertigungsgeräte und Materialfluß.- 2.4 Informationsverarbeitung in der Fertigung.- 3 Einflüsse auf die wirtschaftliche Fertigung flexibler Losgrößen.- 3.1 Einfluß der Prozeßtechnik.- 3.2 Einfluß der Gerätetechnik.- 3.3 Einfluß der Werkstattsteuerung.- 3.4 Einfluß von Informationssystemen auf operativer Ebene.- 3.5 Lösungsansätze zur wirtschaftlichen Fertigung flexibler Losgrößen.- 3.6 Zusammenfassung der Untersuchungsergebnisse.- 4 Ableitung der Entwicklungsschwerpunkte.- 4.1 Anforderungen an das Verfahren zur Mischlosbildung.- 4.2 Anforderungen an ein System zur Einzelscheibenverfolgung.- 5 Konzeption eines Verfahrens zur Mischlosbildung.- 5.1 Modellierung der operativen Ebene.- 5.2 Arbeitsprinzip der Mischlosverwaltung.- 5.3 Aufbaustruktur des Verfahrens zur Mischlosbildung.- 5.4 Ablaufstruktur des Verfahrens zur Mischlosbildung.- 5.5 Funktionale Defizite auf operativer Ebene.- 6 Entwicklung eines Systems zur Einzelscheibenverfolgung.- 6.1 Materialverwaltung.- 6.2 Umhordetechnik.- 6.3 Schnittstelle zur Identifikation.- 6.4 Schnittstelle zur Gerätetechnik.- 6.5 Schnittstelle zur Werkstattsteuerung.- 6.6 Systemstruktur.- 7 Realisierung und Erprobung.- 7.1 Vorversuche zum Verfahren zur Mischlosbildung.- 7.2 Realisierung des Systems zur Einzelscheibenverfolgung.- 7.3 Diskussion der Ergebnisse.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Literatur.

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