Mikrosystemtechnik

Name: Mikrosystemtechnik
Author: Stephanus Büttgenbach

Vom Transistor zum Biochip

Specificaties

Paperback, blz. | Duits

Springer Berlin Heidelberg | e druk, 2016

ISBN13: 9783662497722

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Juridisch :

Springer Berlin Heidelberg e druk, 2016 9783662497722

Onderdeel van serie Technik im Fokus

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Samenvatting

Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her?

Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik über die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit großer Wirkung: die einzelnen Komponenten können einige Mikrometer groß sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erläutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zukünftigen Trends dieser Schlüsseltechnologie ein.

Specificaties

ISBN13:9783662497722

Taal:Duits

Bindwijze:paperback

Uitgever:Springer Berlin Heidelberg

Serie:Technik im Fokus

Inhoudsopgave

Einleitung.- Transistor und Halbleitertechnik.- Piezoresistiver Effekt.- Bulk Micromachining.- LIGA-Verfahren.- Surface Micromachining.- Atomic Force Microscope (AFM).- Entwicklung von Ultrakurzpulslasern.- µTAS (Micro Total Analysis System)-Konzept.- Deep Reactive Ion Etching (DRIE).- Soft-Lithografie.- Die Zukunft.

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